エッチング装置用軸受イオン注入装置用軸受

エッチング装置用軸受

エッチング装置の軸受は、運転中にエッチング液にさらされるため、耐食セラミック軸受とステンレス鋼が採用されています。

イオン注入装置用軸受

イオン注入装置の真空チャンバーには、真空中での潤滑により摩耗などによる不純物を発生させないクリーンベアリングが採用されています。